臭氧的制取方式有很多种如：高压放电法（电晕法）、低压水解法、紫外线聚合法、核辐射法等。目前应用的臭氧制取技术主要有高压放电法（电晕法）和低压水解法两种。

1、高压放电法（电晕法）：高压放电法产出臭氧的原理是两个平行的高压电极之间平行放置一个介电体（通常采用硬质玻璃或陶瓷作介电体也有用不锈钢），并保持一定的放电间隙，当在两极间通入高压交流电时，在放电间隙，形成均匀的蓝紫色电晕放电，空气或氧气通过放电间隙，氧分子受到电子的激发获得能量，并相互方式弹性碰撞，聚合成臭氧分子。电晕法在电晕空气里面的氧气产生臭氧的同时，也电晕了空气里的氮气和其他惰性气体（空气由21％的氧气；78%的氮气；1％的惰性气体组成）并产生大量毒性很强的高致癌物氮氧化物（NO×）。且制取臭氧量越大时间越长，氮氧化物的危害就越大。

2、低压水解法

低压水解法产出臭氧的原理是采用低压直流导通固态膜电极的正负两极点解去离子水，水在特殊的阳极溶液界面上以质子交换的形式被分离为氢氧分子，氢从阴极溶液界面上直接被排放，氧分子在阳极界面上因高密度电流产生的电子激发而获得能量，并聚合成臭氧。低压水解法提取臭氧是科学界最领先的臭氧制取科技，制取臭氧的同时副产物为氧气和氢，不含氮氧化物（NOx）和其他有害物质。

两种方法的区别：低压水解法臭氧发生器是以纯水为原料，是以固态的贵金属聚合物为电解质，结合阳离子交换模式，通过低压电解的方式获得臭氧，不需要任何辅助材料和添加剂，产出的臭氧浓度高达20%以上，产出的臭氧气体伴随物为氧，没有任何二次污染。

而传统的高压放电法（电晕法）臭氧发生器，以空气或氧气为原料，需要经过多道预处理。并通过V左右的高频高压放电场才能获得臭氧，产出的臭氧浓度最高不超过6%，产出的臭氧伴随物为氮、氧、氮氧化合物和其他杂质，氮氧化合物中的二氧化氮为不分解的有毒高致癌物质，同时还伴随电磁波污染。所以高压放电的电晕法制取臭氧随着人们对臭氧应用的更多了解及臭氧应用国家标准的不断提高。已做为不安全的落后技术逐渐退出了更多的行业应用。